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化學(xué)性質(zhì)
危險(xiǎn)屬性
質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)
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問答
1. 結(jié)構(gòu)與形態(tài):氮化鈦通常呈金黃色結(jié)晶粉末狀,其晶體結(jié)構(gòu)為立方結(jié)構(gòu)。這種結(jié)構(gòu)賦予了氮化鈦獨(dú)特的物理和化學(xué)特性。
2. 熔點(diǎn)與硬度:氮化鈦的熔點(diǎn)非常高,達(dá)到2950℃至3290℃,這使得它在高溫環(huán)境下仍能保持穩(wěn)定。此外,氮化鈦的莫氏硬度為8-9,表明它具有極高的硬度,接近金剛石的硬度水平。
3. 熱穩(wěn)定性與抗熱震性能:氮化鈦具有良好的熱穩(wěn)定性,能夠在高溫下保持其結(jié)構(gòu)和性能不變。同時,它還具有優(yōu)異的抗熱震性能,能夠抵抗溫度急劇變化帶來的沖擊。
4. 溶解性與化學(xué)反應(yīng)性:氮化鈦在常溫下相當(dāng)穩(wěn)定,不溶于水,微溶于王水、硝酸和氫氟酸。然而,在真空中加熱時,它可失去部分氮,生成含氮量比TiN少的升華物,此升華物可重新吸氮。在氧中或空氣中燃燒時,氮化鈦會生成二氧化鈦(TiO2)并釋放氮?dú)狻?/p>
5. 電導(dǎo)率與導(dǎo)熱性:氮化鈦具有良好的導(dǎo)電性和導(dǎo)熱性,這使其在電子和電氣領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用。
6. 耐化學(xué)腐蝕性:氮化鈦對多種化學(xué)物質(zhì)表現(xiàn)出良好的耐腐蝕性,包括酸、堿和鹽等。
7. 制法多樣性:氮化鈦可以通過多種方法制備,包括將金屬鈦在氨氣氣流中加熱反應(yīng)、將二氧化鈦和碳混合后在氮?dú)鈿饬髦羞€原氮化,以及通過氣相沉積法得到氮化鈦涂層等。
1. GHS分類:根據(jù)全球化學(xué)品統(tǒng)一分類和標(biāo)簽制度(GHS),氮化鈦未被歸類為危害物質(zhì)。
2. 安全術(shù)語:由于氮化鈦在正常條件下不表現(xiàn)出明顯的健康或環(huán)境危害,因此沒有特定的警示詞或危險(xiǎn)性說明。
3. 風(fēng)險(xiǎn)術(shù)語:氮化鈦本身不易燃,且在高溫下具有良好的熱穩(wěn)定性。然而,在處理過程中應(yīng)避免與強(qiáng)氧化劑接觸,以防止可能的化學(xué)反應(yīng)。
4. 急救措施:如果吸入了氮化鈦粉塵,應(yīng)立即將患者轉(zhuǎn)移到新鮮空氣處。皮膚接觸后,應(yīng)脫去污染的衣物并用肥皂水和清水徹底沖洗。眼睛接觸時,應(yīng)用流動清水或生理鹽水沖洗,并立即就醫(yī)。誤食情況下,應(yīng)漱口并禁止催吐,立即就醫(yī)。
5. 消防措施:氮化鈦本身不燃燒,但應(yīng)使用適當(dāng)?shù)臏缁饎┻M(jìn)行滅火,如水霧、干粉、泡沫或二氧化碳滅火劑。消防人員需佩戴適當(dāng)?shù)姆雷o(hù)裝備。
6. 泄漏應(yīng)急處理:發(fā)生泄漏時,應(yīng)急處理人員應(yīng)戴攜氣式呼吸器,穿防靜電服,戴橡膠耐油手套。應(yīng)盡可能切斷泄漏源,并根據(jù)泄漏量采取相應(yīng)的收容措施。
7. 廢棄處置:氮化鈦的廢棄處置應(yīng)遵循當(dāng)?shù)丨h(huán)保法規(guī),確保不對環(huán)境造成污染。通常建議將其作為工業(yè)廢物處理。
8. 安全數(shù)據(jù)表:氮化鈦的安全技術(shù)說明書提供了詳細(xì)的化學(xué)品及企業(yè)標(biāo)識、成分/組成信息、危險(xiǎn)性概述、急救措施、消防措施、泄露應(yīng)急處理、操作處置與儲存等信息,是了解和使用氮化鈦的重要參考資料。
1. 物理性能
- 密度:確保氮化鈦靶材的密度接近理論值,表明材料內(nèi)部無明顯孔隙。氮化鈦的理論密度為5.24 g/cm3。
- 硬度:通過維氏硬度測試(HV)或洛氏硬度測試(HR),確保靶材具有足夠的耐磨性和抗劃傷能力。氮化鈦的硬度極高,一般在2000至3000維氏硬度(HV)之間。
- 電阻率:電阻率是衡量靶材導(dǎo)電性的重要指標(biāo),通過四探針法進(jìn)行測量。氮化鈦表現(xiàn)出良好的導(dǎo)電性,電阻率通常在15-30 μΩ·cm之間。
2. 化學(xué)性能
- 純度:氮化鈦靶材的化學(xué)純度需達(dá)到99.9%以上,以減少雜質(zhì)對濺射薄膜性能的影響。
- 均勻性:化學(xué)成分在整個靶材中的分布應(yīng)均勻一致,避免局部區(qū)域因成分差異而導(dǎo)致性能變化。
3. 機(jī)械性能
- 抗彎強(qiáng)度:通過三點(diǎn)彎曲試驗(yàn)測定,確保靶材在加工和使用過程中不易斷裂。
- 抗熱震性:通過反復(fù)加熱冷卻循環(huán)測試,評估靶材抵抗溫度急劇變化的能力。
4. 外觀檢測
- 目視檢查:檢查靶材表面是否有裂紋、凹坑、起泡等缺陷。
- 光學(xué)顯微鏡檢查:使用光學(xué)顯微鏡觀察靶材表面和斷面的微觀結(jié)構(gòu)。
5. 微觀結(jié)構(gòu)分析
- 掃描電子顯微鏡(SEM):用于觀察靶材表面和斷面的微觀形貌,檢查晶粒大小、分布情況。
- 透射電子顯微鏡(TEM):進(jìn)一步分析晶粒內(nèi)部結(jié)構(gòu),確定是否存在位錯、孿晶等缺陷。
6. 化學(xué)成分分析
- X射線熒光光譜(XRF):用于測定靶材的化學(xué)成分和含量。